高真空阀（high vacuum valve）是一种用于高真空环境的真空阀门 。作为真空系统中的关键部件，其核心功能是实现气体的隔离、调节与通断控制 。
该产品对密封性能、材料洁净度与放气率、响应速度及使用寿命有极高要求，例如在半导体制造中需满足漏率≤10⁻¹² Pa·m³/s、百万次以上循环寿命等指标。主要应用于半导体制造（如光刻、蚀刻、薄膜沉积）、航天航空（如火箭推进、空间模拟）、真空镀膜等领域 。其性能需通过氦质谱检漏等严格测试来保证 。SMC(天津)制造有限公司等企业已实现该产品的国产化生产 。
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