半导体级硅

半导体级硅

半导体级硅是纯度高达99.999999999%(11N)的硅材料,主要用于集成电路、分立器件等芯片制造领域。其制造需经过石英砂提纯、氯化氢反应、单晶硅生长(直拉法/区熔法)等工艺,最终形成晶圆级硅片。全球95%以上半导体器件基于硅基材料,其中12英寸硅片占据69.15%市场份额,可通过抛光、外延等工艺形成不同类型的基底材料。中国企业在12英寸大硅片国产化上取得突破,2022年实现13个9纯度级产品的自主生产 。

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