超声波显微镜，也称为C模式扫描声学显微镜或C-SAM，是一种利用超声波进行非破坏性检测的显微镜 。
超声波显微镜主要用于检测物体内部的缺陷和结构。其工作原理是通过发射高频超声波（频率通常在5MHz到400MHz甚至更高）传递到样品内部，当超声波遇到不同材质的界面时，会反射和穿透，形成回波。这些回波被接收并处理后，可以形成样品内部的声学图像，如A-Scan、B-Scan、C-Scan等，从而检测出样品内部的缺陷，如裂纹、分层、空洞等 。该技术对材料界面敏感，特别擅长检测分层、空洞等与界面相关的缺陷和粘接质量。超声波显微镜主要应用于半导体封装与组装、材料科学、航空航天、医疗植入物、精密制造及失效分析等领域 。在电子封装检测领域，需遵循IPC/JEDEC J-STD-035A等行业标准 。超声波显微镜可与X-Ray成像技术形成互补，后者对材料内部分层、微小裂纹等缺陷不敏感，而前者则对此类缺陷非常敏感 。
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